Method of fabricating suspended microstructures,申请号EP20020253000-传众专利搜索

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发明名称	Method of fabricating suspended microstructures
摘要
申请公布号	EP1253108(B1)	申请公布日期	2005.03.30
申请号	EP20020253000	申请日期	2002.04.26
申请人	HEWLETT-PACKARD COMPANY	发明人	HORSLEY, DAVID
分类号	B81B3/00;B81C1/00;H01L29/84;(IPC1-7):B81B3/00	主分类号	B81B3/00
代理机构		代理人
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