发明名称 Method for compensating temperature in semiconductor test handler
摘要
申请公布号 KR100479988(B1) 申请公布日期 2005.03.30
申请号 KR20020043677 申请日期 2002.07.24
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;G01K15/00;G01R1/44;G01R31/28;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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