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经营范围
发明名称
Method for compensating temperature in semiconductor test handler
摘要
申请公布号
KR100479988(B1)
申请公布日期
2005.03.30
申请号
KR20020043677
申请日期
2002.07.24
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;H01L21/66;G01K15/00;G01R1/44;G01R31/28;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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