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发明名称
METHOD FOR MANUFACTURING CAPACITOR IN SEMICONDUCTOR DEVICE CAPABLE OF PREVENTING DIELECTRIC LOSS OF BST CAPACITOR
摘要
申请公布号
KR100481831(B1)
申请公布日期
2005.03.30
申请号
KR19970034705
申请日期
1997.07.24
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
LEE, MUN HUI
分类号
H01L27/06
主分类号
H01L27/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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