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发明名称
Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats mit von der Vakuumkammer getrenntem Saugraum
摘要
申请公布号
DE10320985(B4)
申请公布日期
2005.03.24
申请号
DE20031020985
申请日期
2003.05.09
申请人
INTERPANE ENTWICKLUNGS- UND BERATUNGSGESELLSCHAFT MBH & CO.KG
发明人
LANDGRAF, RALF;HERWIG, WILHELM
分类号
C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/56;C03C23/00
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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