发明名称 Vorrichtung zum Beschichten eines Substrats mit von der Vakuumkammer getrenntem Saugraum
摘要
申请公布号 DE10320985(B4) 申请公布日期 2005.03.24
申请号 DE20031020985 申请日期 2003.05.09
申请人 INTERPANE ENTWICKLUNGS- UND BERATUNGSGESELLSCHAFT MBH & CO.KG 发明人 LANDGRAF, RALF;HERWIG, WILHELM
分类号 C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/56;C03C23/00 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
主权项
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