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发明名称 A showerhead having a cooling apparatus and a chamber using thereof
摘要
申请公布号 KR200379906(Y1) 申请公布日期 2005.03.24
申请号 KR20040036983U 申请日期 2004.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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