摘要 |
Es ist ein kompakter Differenzdruckaufnehmer mit konstruktiv einfachem und symmetrischem Aufbau vorgesehen, der ein Sensorelement (1), zwei daran angrenzende Druckmeßkammern (2, 3), zwei von Trennmembranen (21, 31) abgeschlossene Druckempfangskammern (22, 32) und zwei durch eine Überlastmembran (6) voneinander getrennte Überlastkammern (23, 33) aufweist, bei dem die Überlastmembran (6) einen geschlossenen äußeren Rand und einen geschlossenen inneren Rand aufweist und entlang deren äußerem und deren innerem Rand fest eingespannt ist, bei dem das Sensorelement (1) in einer durch die Überlastmembran (6) definierten Ebene innerhalb des inneren Randes der Überlastmembran (6) angeordnet ist.
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