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经营范围
发明名称
Verfahren zum Herstellen eines isolierenden Zwischenfilms
摘要
申请公布号
DE69731566(T2)
申请公布日期
2005.03.24
申请号
DE19976031566T
申请日期
1997.08.29
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人
SUGAHARA, GAKU;AOI, NOBUO;ARAI, KOJI;SAWADA, KAZUYUKI
分类号
C23C16/26;C23C16/30;C23C16/40;H01L21/3105;H01L21/312;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/40;A47J37/07
主分类号
C23C16/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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