DRYING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE BY USING VACUUM DRYER,申请号KR19980028660-传众专利搜索

发明名称	DRYING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE BY USING VACUUM DRYER
摘要
申请公布号	KR100480588(B1)	申请公布日期	2005.03.24
申请号	KR19980028660	申请日期	1998.07.15
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	PARK, CHAN GEUN;LEE, JONG JAE
分类号	H01L21/304;F26B5/04;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
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