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发明名称 Steurung der Ionendosis in einem Implantierungsgerät
摘要
申请公布号 DE60018125(D1) 申请公布日期 2005.03.24
申请号 DE20006018125 申请日期 2000.04.14
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 FARLEY, MARVIN
分类号 H01J37/304;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/304 主分类号 H01J37/304
代理机构 代理人
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