Selektiver Plasmaätzprozess zur Aluminiumoxid-Strukturierung

摘要

Diese Erfindung betrifft ein Verfahren zum selektiven und gerichteten Plasmaätzen von Aluminiumoxid, bei dem ein Gemisch mit folgenden Bestandteilen zum Ätzen eingesetzt wird: DOLLAR A a. ein polymerisierendes Gas aus zumindest teilweise ungesättigten, perfluorierten Kohlenwasserstoffverbindungen; DOLLAR A b. wahlweise eine Verbindung mit der Formel CH¶x¶F¶y¶, wobei x = 1-3 ist und y = 4-x ist; DOLLAR A c. Sauerstoff und DOLLAR A d. ein geeignetes Trägergas DOLLAR A und dieses Gemisch als Plasma mit dem zu ätzenden Aluminiumoxid in Kontakt gebracht wird.