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一种装置,应用摩瑞干涉原理,配合影像取像单元 截取干涉影像,得到精密位移量测的装置,产生干 涉影像之格栅安置于以线性滑轨组为基础之位移 机构,其包括有上下窗型机构、二格栅相对方向之 调整机构、紧配合之拉伸弹簧调整机构及原点调 整机构;机构以一精密之滚珠线性滑轨组,不移动 之下窗型机件以滑轨之上表面为基准面,固定于上 ;移动之外上窗型机构以滑轨组之滑块表面为基准 面,固定于上;印有格栅之透光片安置于内上窗型 机构及下窗型机件,利用调整上下格栅重叠性之调 整机构与外上窗型机构结合固定;机构组再固定于 基座。 图式简单说明: 第一图 装置系统示意图 第二图 格栅条纹 第三图 干涉条纹之影像 第四图 位移机构主架构之爆炸图 第五图 内、外上窗型机构之调整机构之顶座及顶 针 第六图 外上窗型机构 第七图 内上窗型机构 第八图 弹簧拉伸机构之调整杆,套环 第九图 下窗型机构 |
