| 发明名称 |
Spin-on anti-reflective coatings for photolithography |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US2005058929(A1) |
申请公布日期 |
2005.03.17 |
| 申请号 |
US20040495688 |
申请日期 |
2004.11.17 |
| 申请人 |
KENNEDY JOSEPH T;BALDWIN-HENDRICKS TERESA |
发明人 |
KENNEDY JOSEPH T;BALDWIN-HENDRICKS TERESA |
| 分类号 |
G03F7/11;C08G77/00;C08G77/04;C09D1/00;C09D5/32;C09D7/12;C09D183/04;C09K3/00;G03C1/492;G03F7/09;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/492;B32B9/04 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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