Tastkopfmikroskop und Abtastverfahren

摘要

Es sind ein Tastkopfmikroskop und ein Abtastverfahren offenbart, mit denen man in der Lage ist, eine Beschädigung aufgrund einer Kollision zwischen einer Tastspitze und einer Materialprobe zu reduzieren oder zu vermeiden, die Messzeit zu verkürzen, den Durchsatz und die Messgenauigkeit zu verbessern und Beobachtungsdaten, wie z. B. Topographiedaten, über die Probenoberfläche zu sammeln, ohne durch eine anhaftende Wasserschicht beeinträchtigt zu sein. Das Mikroskop hat eine Schwingungseinheit, um die Tastspitze in Schwingung zu versetzen, eine Beobachtungseinheit zum Sammeln von Bobachtungsdaten, wenn sich die Spitze in der Nähe der oder in Kontakt mit der Probenoberfläche befindet, einen Detektor zum Erfassen einer Veränderung des Schwingungszustands der Spitze, wenn sie in der Nähe der oder in Kontakt mit der Probenoberfläche ist, und eine Steuereinheit zum Steuern der Bewegung der Spitze in X- und Y-Richtung parallel zur Probenoberfläche und in einer Z-Richtung vertikal zur Probenoberfläche. Nach dem Sammeln der Beobachtungsdaten lässt die Steuereinheit die Spitze in einer Richtung parallel zur Probenoberfläche eine Abtastbewegung ausführen, bis eine nächste Beobachtungsposition in der X- oder Y-Richtung erreicht ist. Beim Abtasten, wenn eine Veränderung des Schwingungszustands der Spitze erfasst wird, bewegt die Steuereinheit die Spitze in der Z-Richtung von der Probenoberfläche weg.