摘要 |
Die Erfindung bezieht sich auf ein optisches Messsystem zum Erfassen von Geometriedaten von Oberflächen (O) mindestens eines Objekts (BT) mit einem Strahlzuführungsabschnitt, mit einer an diese angeschlossenen Sondenanordnung (SA), die mehrere Sondenausgänge (1, ..., 6) zum Abgeben eines jeweiligen Messstrahls (MS1, MS2) auf eine zugeordnete Oberflächenstelle und Aufnehmen von der Oberfläche zurückgeworfener Strahlung aufweist, und mit einer nachgeordneten Auswerteeinrichtung (AE) zum Bestimmen der Geometriedaten auf der Grundlage der von den Oberflächenstellen zurückgeworfenen Strahlung. Eine sehr genaue und mechanisch robuste Bestimmung von Oberflächen-Geometriedaten, z. B. Durchmesser und Rundheit einer Bohrung, wird dadurch erreicht, dass die Sondenanordnung (SA) mit den Sondenausgängen (1, ..., 6) in der Weise ausgebildet ist, dass außer den Geometriedaten der Oberfläche(n) gleichzeitig auch die relative Lage der Sondenanordnung (SA) mit den in fester Lagebeziehung zueinander positionierten Sondenausgängen (1, ..., 6) zu dem/den Objekt/en zumindest hinsichtlich mehrerer relevanter Freiheitsgrade bestimmbar ist (Fig. 1).
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