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发明名称
VORRICHTUNG UMFASSEND EINEN PIEZOELEKTRISCHEN AKTOR
摘要
申请公布号
DE50202247(D1)
申请公布日期
2005.03.17
申请号
DE20025002247
申请日期
2002.09.03
申请人
SIEMENS AG
发明人
FREUDENBERG, HELLMUT;KLUEGL, WENDELIN;UNRUH, MARCUS;VOIGT, ANDREAS;ZUMSTRULL, CLAUS
分类号
H01L41/053;H01L41/083;(IPC1-7):H01L41/053
主分类号
H01L41/053
代理机构
代理人
主权项
地址
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