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发明名称 HOCHTEMPERATUR-PROBENTISCH UND DETEKTOR FÜR RASTERELEKTRONENMIKROSKOP UNTER KONTROLLIERTER UMGEBUNG
摘要
申请公布号 DE69634328(D1) 申请公布日期 2005.03.17
申请号 DE19966034328 申请日期 1996.08.08
申请人 FEI CO., HILLSBORO 发明人 KNOWLES, W.;HARDT, A.
分类号 H01J37/20;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244;H01J37/256 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
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