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发明名称 Piezoelekronisches X-Y-Mikropositioniersystem
摘要
申请公布号 DE10010392(B4) 申请公布日期 2005.03.17
申请号 DE20001010392 申请日期 2000.02.29
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET ILMENAU ABTEILUNG FORSCHUNGSFOERDERUNG UND TECHNOLOGIETRANSFER 发明人 WURMUS, HELMUT;KEOSCHKERJAN, RUBEN;BURGOLD, JOERG
分类号 H01L41/09;(IPC1-7):H02N2/02 主分类号 H01L41/09
代理机构 代理人
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