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经营范围
发明名称
Heater block for Wafer-process
摘要
申请公布号
KR100477388(B1)
申请公布日期
2005.03.17
申请号
KR20020050609
申请日期
2002.08.26
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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