摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Bauteilen, insbesondere Glasplättchen, z. B. als Fenster für Optokappen für optische Bauelemente. DOLLAR A Es ist eine Aufgabe, ein kostengünstiges Verfahren bereitzustellen, welches eine hohe Oberflächenqualität der Bauteile gewährleistet. DOLLAR A Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst die Schritte: DOLLAR A Bereitstellen eines Substrats (10), DOLLAR A Bereitstellen eines Trägers (12), DOLLAR A Verbinden einer ersten Oberfläche (10a) des Substrats (10) mit einer ersten Oberfläche (12a) des Trägers (12), z. B. Auflaminieren einer Trägerfolie, DOLLAR A Herausarbeiten der Bauteile (16) aus dem Substrat (10), z. B. mittels Ultraschallschwingläppen oder Sandstrahlen, wobei die Bauteile (16) zumindest unmittelbar nach dem Herausarbeiten von dem Träger (12) zusammengehalten werden, und DOLLAR A Ablösen der Bauteile (16) von dem Träger (12), um die Bauteile (16) zu separieren.
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