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发明名称 Improved method of etching silicon
摘要
申请公布号 AU2004271223(A1) 申请公布日期 2005.03.17
申请号 AU20040271223 申请日期 2004.09.09
申请人 CSG SOLAR, AG 发明人 TREVOR LINDSAY YOUNG
分类号 H01L21/308;H01L21/467 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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