光学资讯记录媒体之母模的制造方法,形成图案的方法、母模,压模,光学资讯记录媒体以及光阻剂

摘要

一种制造光资讯记录介质的母板的方法，包括：抗蚀层形成步骤，使用抗蚀剂在衬底的上表面形成抗蚀层；曝光步骤，有选择性地曝光抗蚀层，以使抗蚀层中的状态发生变化；以及显影步骤，在执行曝光步骤之后，在抗蚀层上执行硷性显影处理。抗蚀剂主要由无机材料组成，并且至少包括碲和氧，此外还含有在硷性环境中比TeO2的溶解度更低的稳定化添加剂。