用于真空环境中之压力补偿化学感测器

摘要

一种化学物种感测器包含一参考表面声波元件(SAW)2与一量测表面声波元件1(SAW)。已在该量测SAW1施加一特别地敏感于感测器所要监视之化学物种之化学筛选涂膜。在参考SAW2则施加一化学钝性涂膜。该感测器包含装置4、5，其用于提供该参考SAW与该量测SAW间之一温差。在使用时，将监视由该参考与量测SAW所产生之波形的相对频率，且由此可侦测出在所监视环境内之该被监视物种的比例。