电浆之机械局限的磁性提升

摘要

提供一种处理基体的电浆处理装置。提供一具有室壁的电浆处理室。提供一该室壁内的基体支架。提供至少一局限环，其中该局限环及该基体支架定义一电浆体积。提供一磁性源产生磁场，以磁性地提升该至少一局限环所提供的实体局限。