发明名称 电浆处理装置及电浆处理方法
摘要 本发明能够抑制产生电浆所导致之对被处理体的损伤,而且能够进行合适之电浆处理。本发明提供了一种电浆处理装置,其至少包括:用以对被处理体进行电浆处理之电浆处理室;用以将上述被处理体配置于上述电浆处理室内之被处理体保持手段;用以在该电浆处理室内产生电浆之电浆产生手段;其中,电浆产生手段能够使用可作断续之能量供给者。
申请公布号 TW200511430 申请公布日期 2005.03.16
申请号 TW093115377 申请日期 2004.05.28
申请人 东京威力科创股份有限公司 发明人 野泽俊久;石桥清隆;中西敏雄
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本