发明名称 | 电浆处理装置及电浆处理方法 | ||
摘要 | 本发明能够抑制产生电浆所导致之对被处理体的损伤,而且能够进行合适之电浆处理。本发明提供了一种电浆处理装置,其至少包括:用以对被处理体进行电浆处理之电浆处理室;用以将上述被处理体配置于上述电浆处理室内之被处理体保持手段;用以在该电浆处理室内产生电浆之电浆产生手段;其中,电浆产生手段能够使用可作断续之能量供给者。 | ||
申请公布号 | TW200511430 | 申请公布日期 | 2005.03.16 |
申请号 | TW093115377 | 申请日期 | 2004.05.28 |
申请人 | 东京威力科创股份有限公司 | 发明人 | 野泽俊久;石桥清隆;中西敏雄 |
分类号 | H01L21/3065 | 主分类号 | H01L21/3065 |
代理机构 | 代理人 | 陈长文 | |
主权项 | |||
地址 | 日本 |