微影设备、装置制造方法及其所制造之装置

摘要

一种微影投影设备，其包括一碰撞防护设备以防护内部部件免受来自碰撞之损害。该碰撞防护设备可包括至少一个减震器用以施加制动力及／或用以吸收碰撞力，以减小或消除对精密且贵重部件之任何损害。该碰撞防护设备亦可监控一运动部件之位置与速度以确定何时可能发生碰撞。