微影设备,装置之制造方法,及以此制造之装置

摘要

本发明提供一种微影投影设备，其含有一用于将经图案化之光束投影于基板之目标部分上之投影系统。该投影系统含有一或多个光学主动镜面及特定设置成截取朝向或来自该等镜面及／或其支撑结构的热辐射之热遮罩。该等热遮罩系主动冷却，且该等镜面及该等热遮罩独立地被支撑于支撑框架上以减少由主动冷却所引起的镜面振动。热遮罩较佳包括截取朝向或来自支撑结构的热辐射之热遮罩及／或截取朝向或来自个别镜面之热辐射的该等镜面之各自的热遮罩。