| 摘要 |
本发明系关于一种具有一镜射表面(mirroring surface)的镜子，其中该镜射表面包括一或多个包括一选自于Be、B、C、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa及U中至少一者的材料之突起，或者在该镜射表面之内包括一或多个包括一选自于Be、B、C、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa及U中至少一者的第一材料之第一突起及一或多个包括一选自于Be、B、C、Si、P、S、K、Ca、Sc、Br、Rb、Sr、Y、Zr、Nb、Mo、Ba、La、Ce、Pr、Pa及U中至少一者的第二材料之第二突起，且其中该第一及第二材料不相同。本发明进一步关于一种包括该等镜子之微影投影装置。本发明亦关于一种使用该种微影装置之元件制造方法。 |
