摘要 |
本发明提供一种液晶显示装置及其制造方法,其课题系针对减少知制造步骤数的制造方法中,当通道长度缩短时,制造余裕度(margin)变小而良率降低之情形而研发。本发明之解决手段系具备:藉由半色调(halftone)曝光技术的导入,将扫描线之形成步骤、与接触部分之形成步骤合理化的新颖技术;和藉由在知技术之源极.汲极配线的阳极氧化步骤,导入半色调曝光技术,以将电极端子之保护层形成步骤合理化的新颖技术;和利用与知同时形成画素电极和扫描线之合理化技术的技术组合,以构筑TN型液晶显示装置和IPS型液晶显示装置的4道光罩.制程(mask.process)、3道光罩.制程(mask.process)方案。 |