多层膜光学元件之制造方法

摘要

为提供一种多层膜光学元件之制造方法，以防止多层光学薄膜之白浊，且可乾净地使玻璃基板与多层光学薄膜分离。在玻璃基板(BK7)1上藉由真空蒸镀进行铝2的成膜，再于其上，以离子溅镀法进行多层光学薄膜3之成膜。然后，藉由切割，将其分割后，藉由氢氧化钠对铝2进行蚀刻，将玻璃基板1与多层光学薄膜3分离。铝的厚度若超过90nm，则于多层光学薄膜3会发生白浊的情形，铝的厚度若未满10nm，则玻璃基板与多层光学薄膜无法乾净地分离。