一种缺陷原因分析的方法

摘要

首先提供一样本，该样本之上表面上具有复数个缺陷，接着进行一缺陷检测，以侦测出该等缺陷之大小及位置，并对该样本进行一化学组成分析，再根据该化学组成分析之结果来进行一图谱分析，最后根据该图谱分析之结果来判别该等缺陷之产生原因。