具定向孔结构之研磨垫

摘要

本发明提供一种化学机械研磨用之研磨垫，其包括一本体、一研磨表面及复数个延长孔，其中10％或以上之延长孔之纵横比为2：1或以上，且实质上沿与该研磨表面共平面之方向定向。本发明进一步提供一种研磨基材之方法。