| 摘要 |
本发明提供沉积一层产物于至少部份于基板主要表面之方法，该基板两侧分离厚度为小于3mm。处理过程包含使用浸渍技术，基板放置于液体介质中，其含有将被沉积产物之溶液或分散液或其一种前身产物；由液体介质移除使得基板涂覆液体层，以及包含于沉积液体层中之至少部份液体介质被蒸发，其中处理过程特征为在一些条件下进行，该条件为由于部份液体介质蒸发结果导致之基板冷却受到限制情况下。处理过程有益的变化包含加热浸渍浴至温度足以至少部份补偿由于液体介质蒸发所致之基板冷却。能够使用本发明处理过程以藉由溶胶－胶凝形式处理过程沉积固体层。 |
