照明光学系统及使用照明光学系统之曝光装置

摘要

使用来自光源的光照射照射表面的照明光学系统包含来自光源之光入射的第一绕射光学元件，和来自光源之光入射的第二绕射光学元件，其中来自该第一绕射光学元件的光在与照射表面有傅立叶转换关系的预定表面上形成照明分布第一部分，来自第二绕射光学元件的光形成照明分布第二部分。