搬运装置、电子元件处理装置、以及电子元件处理装置中之搬运方法

摘要

利用Z轴驱动装置使得可保持．放开订制托盘KST之托盘移送臂205在Z轴方向可移动，在该Z轴驱动装置令托盘移送臂205在Z轴下方向移动之途中，可将该移动动作自一般动作切换为扭力限制动作。若依据这种托盘移送臂205，在储存订制托盘KST之储存器不必设置升降梯，又不必正确的得知订制托盘KST之高度或其放置高度，此外，可高速的保持托盘移送臂205在不必限制扭力之位置之移动速度。