发明名称 具有超疏水性表面之载具
摘要 本发明揭示一种具备超疏水性表面的载具,可让该载具更有效清洁与乾燥。在本发明内,载具整个或部分表面都具备超疏水性。载具的超疏水性表面让与表面接触的液体(像是清洁用的液体)快速并轻易「滚掉」,而不会留下液体薄膜或许多液滴。结果可降低让表面乾燥的时间与能源,并让残余物减至最少,藉此改善整体处理品质。此外,超疏水性表面可耐液体或蒸气型态的污染物沉积。
申请公布号 TW200510094 申请公布日期 2005.03.16
申请号 TW093110484 申请日期 2004.04.15
申请人 安堤格里斯公司 发明人 查尔斯 艾克斯崔恩
分类号 B23B3/00;H01L21/68 主分类号 B23B3/00
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 美国