用于测量重叠移位之方法

摘要

揭露一种用以测量重叠位移之方法。获得至少一参考元件之一影像，其中该至少一参考元件包括在一第一平面中之至少一第一图案元件及在一第二平面中之至少一第二图案元件。同样地，获得一测量元件之一影像。藉由比较上述参考元件之影像与上述测量元件之影像来确定上述参考元件与上述测量元件间之位移值。一使用者介面之输出指示是否超过一预定容许值。