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发明名称
层图案制造方法、配线制造方法、电子机器之制造方法
摘要
本发明之课题提供可将细微化之层图案,高精度而安定的加以形成之制造方法。本发明之解决手段层图案制造方法,系包含以形成定位于基板上之第1之层,与定位于上述第1之层上的第2之层,而将藉由上述第1之层与上述第2之层所区分之范围,形成在上述基板上的步骤(a);和自吐出装置之吐出部,对上述范围吐出液体状材料之步骤(b)。然后,上述第1之层对上述液体状之材料的拨液性,系较上述第2之层对上述液体状之材料的拨液性为低。
申请公布号
TW200510943
申请公布日期
2005.03.16
申请号
TW093119213
申请日期
2004.06.29
申请人
精工爱普生股份有限公司
发明人
酒井宽文;樱田和昭
分类号
G03F7/16;H01L21/027;G02F1/136
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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