发明名称 清洁片材及其制造方法暨具有该清洁片材之搬送构件
摘要 本发明之目的为提供一种清洁片材,其系于除去附着在探针上之异物时,可不磨损探针地将异物除去,且已自针上除去之异物不会再附着于其上;为达成上述目的,本发明所提供之清洁片材至少于一表面上具有清洁层,且该清洁层系含有胺基甲酸酯聚合物及乙烯系单体。
申请公布号 TW200511416 申请公布日期 2005.03.16
申请号 TW093107421 申请日期 2004.03.19
申请人 日东电工股份有限公司 发明人 吉田良德;前野洋平;额贺二郎
分类号 H01L21/304;H01L21/66 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本