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发明名称
清洁片材及其制造方法暨具有该清洁片材之搬送构件
摘要
本发明之目的为提供一种清洁片材,其系于除去附着在探针上之异物时,可不磨损探针地将异物除去,且已自针上除去之异物不会再附着于其上;为达成上述目的,本发明所提供之清洁片材至少于一表面上具有清洁层,且该清洁层系含有胺基甲酸酯聚合物及乙烯系单体。
申请公布号
TW200511416
申请公布日期
2005.03.16
申请号
TW093107421
申请日期
2004.03.19
申请人
日东电工股份有限公司
发明人
吉田良德;前野洋平;额贺二郎
分类号
H01L21/304;H01L21/66
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
赖经臣;宿希成
主权项
地址
日本
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