| 摘要 |
本发明提供一种喷墨印刷头加热片，其具有一矽基板，该矽基板上具有一由复数个薄膜层形成之加热器堆叠以用于在使用期间喷射墨滴。该等薄膜层包含：一在该矽基板上之热障壁层；一在该热障壁层上之电阻层；一在该电阻层上之掺杂钻石状碳层；及一在该掺杂钻石状碳层上之空洞层。虽然该掺杂钻石状碳层较佳包含矽，但是也可包含氮、钛、钽、其组合物或其他成份。当其包含矽时，较佳之矽浓度系20至25原子百分比(atomic percent)。较佳之空洞层包含一未掺杂钻石状碳、钽或钛层。该掺杂钻石状碳层厚度系500至3000埃。该空洞层厚度系500至6000埃。本发明亦揭示喷墨印刷头及印表机。 |
