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发明名称 DEVICE FOR HANDLING FLAT PANELS IN A VACUUM
摘要
申请公布号 EP1513962(A2) 申请公布日期 2005.03.16
申请号 EP20030716105 申请日期 2003.02.21
申请人 BROOKS AUTOMATION, INC. 发明人 POOLE, DENNIS, P.
分类号 B25J19/00;B25J9/04;B25J18/04;B65G49/06;B65G49/07;H01L21/677;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 B25J19/00
代理机构 代理人
主权项
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