发明名称 缺陷分析抽样控制系统及方法
摘要 本发明系提出一种缺陷分析抽样控制系统及方法,其系包括一基本设定模组、批次设定模组及在制品预测模组,该基本设定模组与批次设定模组系针对不同之产品种类进行选择,以选择设定相对之抽样规则,并对各批次之抽样规则作设定;再配合在制品预测模组来记录所有进行中之产品,以提供查看该产品之状态与进度。故,本发明系可解决知缺陷分析抽样控制的困难,以应映产品的多样性,使各产品抽样规则的控制和调整更加简便,并使抽样规则的设置更加灵活。
申请公布号 TW200511466 申请公布日期 2005.03.16
申请号 TW092125146 申请日期 2003.09.12
申请人 上海宏力半导体制造有限公司 GRACE SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CORPORATION 中国 发明人 林锦祥;施经振
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 林火泉
主权项
地址 中国