缺陷管理系统的方法

摘要

本发明提供一种缺陷管理系统的方法，包含进行机台匹配检验于一缺陷管理系统中，其至少包含扫描一生产晶圆；检视一使用层级于缺陷管理系统中，缺陷管理系统根据使用层级，分配缺陷管理系统的资源；编辑一分析过程模板，缺陷管理系统根据该分析过程模板，执行一分析过程；预滤缺陷数据，其根据至少一基准，此基准选自以下所组成族群之一：未分类与分类、缺陷类别、缺陷尺寸、影像种类、缺陷图案、与CP数据结合；及输出一结果报告，结果报告结合分析过程模板与缺陷数据。