基于硅微机械技术的N×N光开关

摘要

本发明涉及基于微机械技术的N×N光开关，其特征在于先制作2N个1×N或N×1光开关，然后将1×N或N×1光开关的输入输出系用全连接熔接。采用压电材料作为驱动方式，包括输入输出光纤阵列、夹持板、聚焦透镜、反射镜和驱动装置的连接方式。所采用的驱动装置，以及驱动装置的制作。其中夹持板采用硅微机械技术制作，反射镜和驱动装置的连接采用键合技术，以及硅微机械技术制作的连接方式。采用上述方法制作光纤阵列板、反射镜阵列，再配以透镜阵列，作为光耦合层、光传输层、光反射驱动层，构成了N×N光开关。可以大大的减小光开关的体积，降低N×N光开关的装配难度，增大光开关的容量，从而易于实现N×N的光交换。

主权项

1、一种基于硅微机械技术制作的N×N光开关，其特征在于：(1)它是由光反射驱动层，光传输层和光耦合层三层构成，通过光纤的熔接实现N×N光开关；(2)所述N×N光开关是由制作的2N个1×N或N×1光开关的输入输出光纤采用全连接熔接制成的；(3)所述的光反射驱动层是由压电棒驱动的反射装置构成的；(4)所述光传输层是利用自聚焦透镜或透镜阵列形成的，且其位置与光纤阵列相对应；(5)输入输出光纤阵列板作为N×N光开关的耦合层它是由多片相同硅片采用胶粘或键合技术做成一体，再将光纤插入。