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发明名称
摘要
申请公布号	JP3630282(B2)	申请公布日期	2005.03.16
申请号	JP19980373223	申请日期	1998.12.28
申请人		发明人
分类号	C23C4/10;(IPC1-7):C23C4/10	主分类号	C23C4/10
代理机构		代理人
主权项
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