以可重复使用的屏蔽进行的玻璃蚀刻方法

摘要

一种利用可重复使用的屏蔽进行的玻璃蚀刻方法，包括以下步骤：首先，提供一玻璃、一基材、一激光机构、一夹持具及一蚀刻液，并以激光机构发射激光光，利用激光拖拉法将基材穿孔，制作出所需要的孔洞图案。接着，利用阳极接合法将玻璃与屏蔽接合，并置入一紧密配合的夹持具内，再放入一蚀刻液中，使蚀刻液无法从接触边缘渗入，只能循屏蔽上的孔洞图案而接触腐蚀玻璃。最后再利用激光机构发射激光使接合处的玻璃与屏蔽分离，而完成玻璃图案的蚀刻。之后，再将下一块需要进行蚀刻的玻璃与屏蔽接合，并进行相同的蚀刻过程。

主权项

1、一种以可重复使用的屏蔽进行的玻璃的蚀刻方法，其包括下列步骤：(a)提供一玻璃，该玻璃具有第一表面及相对应的第二表面；(b)提供可重复使用的屏蔽，该屏蔽为具有第一表面及相对应的第二表面的一种基材，且该基材具有穿透该第一表面及相对应的该第二表面的孔洞图案；(c)将该玻璃的第一表面与该屏蔽的第一表面接合在一起；(d)提供一夹持具，并将该玻璃及该屏蔽置入该夹持具内，且该夹持具与该玻璃及该屏蔽紧密配合；(e)提供一蚀刻液，并将该玻璃、该屏蔽及该夹持具一起置入该蚀刻液中，且控制该蚀刻液的浓度及腐蚀时间，以完成玻璃的腐蚀；以及(f)提供一激光机构，藉由该激光机构发射激光，而将该玻璃及该屏蔽分离。