静电吸盘和处理装置

摘要

根据本发明，提供一种用于静电吸引绝缘基片的静电吸盘、使用静电吸盘加热/冷却绝缘基片的装置、和控制绝缘基片温度的方法。公开了形成静电吸盘的绝缘材料的形状和特性、和电极的形状。还公开了包括板、气体输送管道和温度控制系统的用于加热/冷却绝缘基片的装置、和其中安装了用于加热/冷却绝缘基片的装置的用于处理绝缘基片的装置。

主权项

1.一种用于吸引绝缘基片的静电吸盘，其包括：绝缘层，所述绝缘层具有吸引绝缘基片的第一表面，和其上配置了多个电极的第二表面；其中，彼此相邻的所述电极之间的距离等于或大于0.5mm，小于或等于2mm，且其中调节彼此相邻的所述电极之间的距离和所述绝缘层的厚度，使得当在所述电极之间产生电位差时，形成通过梯度力吸引所述绝缘基片的不均匀电场。