| 发明名称 | 降低颗粒物损失的多孔吸气剂器件及其制备方法 | ||
| 摘要 | 一种降低多孔吸气剂物体表面颗粒物损失的方法，所述的方法用选自蒸发、电弧产生的等离子体沉积、离子束沉积和阴极沉积的技术在所述的表面上生成金属或金属合金的薄层(20)。 | ||
| 申请公布号 | CN1596323A | 申请公布日期 | 2005.03.16 |
| 申请号 | CN01816431.5 | 申请日期 | 2001.09.25 |
| 申请人 | 工程吸气公司 | 发明人 | A·康特;M·莫拉加 |
| 分类号 | C23C14/16;H01J7/18;F04B37/04 | 主分类号 | C23C14/16 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 蔡胜有 |
| 主权项 | 1.一种制备降低颗粒物损失的多孔吸气剂器件(22)的方法，所述的方法是使用选自蒸发、电弧产生的等离子体沉积、离子束沉积和阴极沉积的技术，在多孔吸气剂物体(10)的表面上生成厚度至少0.5微米、与吸气剂器件使用条件相适合的材料的沉积物(20；30，31)。 | ||
| 地址 | 意大利莱内特 | ||