| 发明名称 | 喷墨打印头用加热器装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及喷墨打印头用加热器装置及其制造方法，配置覆盖基底层(22)的加热器配置部(22a)及布线层(26)。由于加热器层(24)由钽硅氧化物(TaSiO<SUB>2</SUB>)构成，所以表面电阻较大。因此，可以用较小的电流获得所定的发热量。另外，由于即使将加热器层(24)的厚度变薄也行，所以寿命延长。进一步，还可以抑制加热器部(24a)的面积。从而提供耗电量少、寿命长而且打印清晰度高的喷墨打印头用加热器装置及其制造方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1593920A | 申请公布日期 | 2005.03.16 |
| 申请号 | CN200410076849.3 | 申请日期 | 2004.09.08 |
| 申请人 | 罗姆股份有限公司 | 发明人 | 仲谷吾郎 |
| 分类号 | B41J2/05;B41J2/16 | 主分类号 | B41J2/05 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 刘建 |
| 主权项 | 1、一种喷墨打印头用加热器装置，其特征在于，具有：在半导体基板上配置的、由绝缘材料构成的基底层；配置成部分覆盖基底层的、由布线材料构成的布线层；配置成覆盖基底层中未被布线层覆盖的加热器配置部和布线层的、由钽硅氧化物构成的加热器层；以及配置成覆盖加热器层的、由绝缘性材料构成的绝缘性保护膜。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||