激光调整方法及其装置

摘要

一种激光调整方法，以间歇方式用激光脉冲照射电阻，在测量电阻值的同时，对电阻进行调整。定义电阻的目标阻值与激光调整过程中激光脉冲照射之后电阻测量值之差为ΔRfm、由激光脉冲照射之前和之后所产生的电阻值测量值的变化量为ΔR、暂停时间的初始设定值为T，当差值ΔRfm大于变化量ΔR时，暂停时间被确定为所述初始设定值，当差值ΔRfm等于或者小于变化量ΔR时，相邻的激光脉冲照射之间的暂停时间Tend根据如下的公式来确定：T_end=(ΔRfm/ΔR)×T。

主权项

1.一种电阻的激光调整方法，包括如下步骤：以间歇方式对所述电阻进行激光脉冲照射，在所述激光脉冲照射的位置相对于所述电阻移动的同时，对所述电阻进行调整；对所述电阻的调整包括测量所述电阻阻值的步骤；在进行调整时，根据最终目标值与所述激光脉冲照射之后所述电阻阻值的测量值之间的差值，并根据所述激光脉冲照射之前和之后所产生的电阻阻值测量值的变化量，确定激光脉冲照射之间的暂停时间，其中激光脉冲的照射位置以恒定的速度相对于所述电阻移动，确定激光脉冲照射之间的暂停时间，在所述电阻阻值的最终目标值与激光调整过程中所述激光脉冲照射之后的电阻值测量值之间的差值被定义为ΔRfm，由所述激光脉冲照射之前和之后所产生的电阻值测量值的变化量被定义为ΔR，暂停时间的初始设定值被定义为T的情况下，当差值ΔRfm大于变化量ΔR时，暂停时间被确定为所述初始设定值，当差值ΔRfm等于或者小于变化量ΔR时，紧邻的前一个激光脉冲照射与下一个激光脉冲照射之间的暂停时间Tend可以根据如下的公式来确定：$\mathrm{Tend}=\frac{\mathrm{\Delta Rfm}}{\mathrm{\Delta R}}\times T$