一种用于氮化镓外延生长的新型蓝宝石衬底

摘要

本实用新型公开一种用于氮化镓外延生长的新型蓝宝石衬底，采用圆形蓝宝石衬底代替现有的氮化镓外延生长蓝宝石衬底，取消蓝宝石衬底上的主标志面，减小主标志面上的钝角部分对石墨基座凹槽缺口边缘的局部摩擦、撞击，延长石墨基座使用的寿命，降低生产成本，使工作效率进一步提高。

主权项

1、一种用于氮化镓外延生长的新型蓝宝石衬底，其特征在于：该种用于氮化镓外延生长的蓝宝石衬底(1)形状为圆形，在背面刻有晶面标志(2)，以便于外延生长和芯片加工。